用于半導體工藝、設施監測和控制的解決方案

半導體晶圓和微電子制造是一個要求很高、幾乎不容出錯的工藝過程。該行業高度依賴于高性能監測儀器,以準確測量化學品成分和空氣條件。我們提供半導體行業用在西安折光儀,用于在線監測以下工藝點化學品溶液濃度:散裝化學品和漿料配送、使用點混合、補液和拋光處理;我們還提供用于半導體設備設施內部和周圍的濕度、露點、溫度和壓力測量儀表。

半導體 - 晶圓

濕化學品實時測量

半導體晶圓廠在整個制造工藝過程中要消耗數以噸計的化學品。每種化學溶液的可靠性是工廠最關心的問題,即使最輕微的規格偏離也會導致昂貴的設備污染和晶圓報廢。

氮氣氣體管線

壓縮空氣和氮氣工藝管線

如果您正在使用壓縮空氣或氮氣工藝管線,露點測量將幫助您節約資源,因為它可以避免過度的空氣干燥和設備腐蝕。維薩拉的 DRYCAP 技術具有以下優勢:快速響應、準確測量和維護工作量少。

設施控制

設施控制

通風不充分不僅影響員工安康,還大大降低工作效率(降幅高達 18%)。通過使用可靠耐用、可追溯的 HVAC 傳感器準確測量濕度、二氧化碳 (CO2) 和溫度,既能實現高能效,也能確保員工安康。

什么選擇維薩拉?

維薩拉是半導體行業的資深專家和客戶可信任的合作伙伴。我們通過設計和制造針對不同關鍵半導體工藝的產品(從化學品和工藝質量監測到環境空氣監測),對這個行業有著深刻的了解。我們對工藝的了解來自我們自己的潔凈室,為維薩拉產品和研發制造高質量微芯片。。維薩拉承諾在產品的整個生命周期提供支持,并且就近為您提供優質的服務和支持。